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2024年版全球及中國刻蝕設備用硅材料行業市場研究報告

報告編號:17752

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刻蝕設備用硅材料是集成電路產業鏈中重要的硅材料。半導體硅材料可分為芯片用硅材料和刻蝕設備用硅材料。芯片用硅材料是制造半導體器件的基礎原材料,經過一系列制造工藝形成電路結構并經切割、封測等環節后成為芯片;刻蝕設備用硅材料市場規模相對較小,主要用于制作等離子刻蝕設備中的硅電極。二者在缺陷率的容忍程度上不同,主流尺寸也存在差異。
芯片用、刻蝕設備用硅材料對比


資料來源:立鼎產業研究中心
刻蝕設備用硅材料的制造工藝主要為直拉法。通過石墨加熱器加熱,在溫度高達1420 攝氏度時將高純度石英坩堝中的多晶硅熔化,隨后用原子均勻排列的單晶體(即籽晶)接觸熔液表面,使熔液中的硅原子按照籽晶的原子排列規則進行有序排列,再經過引晶、放大、轉肩、等徑生長、收尾等過程,得到單晶硅棒。
生產參數之間的動態匹配為生產中最突出的技術難點。單晶硅棒的單爐拉制時長約為48小時至72小時,需要經歷生產配料、裝料、設備抽真空、設備升溫、熔料、引晶、縮頸、放肩和轉肩、等徑生長、收尾、停爐冷卻等諸多環節,各環節均需要確保生產參數的準確性和相互之間的匹配性,任何環節或參數出現的細小問題都可能導致單爐次良品率的降低甚至生產失敗,因此單晶硅棒拉制技術屬于系統性的控制工藝,具有較高的技術難度,需要長時間的技術積累和優化。隨著制程的不斷縮小、工藝的不斷提高,下游刻蝕設備硅部件廠商對刻蝕設備用硅材料的指數參數要求亦不斷提高??涛g設備用硅材料產品的關鍵性能指標如尺寸、摻雜劑、電阻率、金屬含量、微缺陷等,都將面臨更高的下游客戶要求。
直拉法生產工藝流程


資料來源:有研硅,立鼎產業研究中心
刻蝕設備用硅材料行業的主要參與者多為硅電極制造商??涛g設備用硅電極是刻蝕工藝生產過程中的核心耗材,通常搭配刻蝕設備使用,不同廠商的刻蝕設備型號差異決定了刻蝕硅電極的差異化生產,全球范圍內主要刻蝕設備用硅電極制造廠商主要位于日本、韓國和美國??涛g用單晶硅材料行業的主要參與者多為硅電極制造商,部分企業如CoorsTek、SK 化學等同時具備單晶硅材料制造能力和單晶硅材料加工能力,其他硅電極制造企業不具備單晶硅材料制造能力或單晶硅材料制造能力較弱,需要從有研硅等專業單晶硅材料制造企業采購單晶硅材料進行后道加工。國內的刻蝕設備用硅材料廠商主要是有研硅和神工股份。
刻蝕設備用硅材料行業市場參與者


資料來源:立鼎產業研究中心
第一章 刻蝕設備用硅材料行業概述
第一節刻蝕設備用硅材料定義及分類
一、行業定義
二、行業主要產品分類
第二節刻蝕設備用硅材料發展基本特征分析
一、行業周期性分析
二、行業區域性分析
三、行業季節性分析
四、行業經營模式分析
五、行業盈利性分析
六、行業競爭烈程度分析
七、行業成熟度分析
第三節全球刻蝕設備用硅材料市場
一、全球發展現狀
二、全球市場規模增長
三、全球市場區域分布
四、全球市場競爭格局
五、全球市場發展趨勢

第二章 刻蝕設備用硅材料行業發展環境分析
第一節刻蝕設備用硅材料政策環境分析
一、行業管理體制
二、行業主要法規
三、行業主要政策
四、行業主要標準
五、政策環境對行業的影響分析
第二節刻蝕設備用硅材料經濟環境分析
一、行業經濟環境
二、經濟環境對行業的影響分析
第三節刻蝕設備用硅材料技術環境分析
一、行業技術水平及特點
二、行業技術趨勢
第四節刻蝕設備用硅材料社會環境分析
一、行業社會環境
二、社會環境對行業的影響分析

第三章 刻蝕設備用硅材料行業產業鏈分析
第一節刻蝕設備用硅材料產業鏈
第二節刻蝕設備用硅材料上游行業影響分析
一、上游行業發展現狀
二、上游行業發展預測
三、上游行業對本行業的影響分析
第三節刻蝕設備用硅材料下游行業影響分析
一、下游行業發展現狀
二、下游行業發展預測
三、下游行業對本行業的影響分析

第四章 刻蝕設備用硅材料行業發展現狀及市場供需分析
第一節刻蝕設備用硅材料發展現狀分析
一、行業發展歷程
二、行業現狀特征
第二節刻蝕設備用硅材料供給狀況分析
第三節影響刻蝕設備用硅材料供給能力的主要因素分析
第四節刻蝕設備用硅材料需求狀況分析
一、行業需求增長分析
二、行業需求格局分析
1、區域市場格局
2、細分市場格局

第五章 刻蝕設備用硅材料行業經濟運行指標分析
第一節刻蝕設備用硅材料行業規模分析
一、收入規模增長分析
二、利潤規模增長分析
三、資產規模增長分析
第二節刻蝕設備用硅材料財務能力分析
一、行業盈利能力增長分析
二、行業營運能力增長分析
三、行業償債能力增長分析
四、行業發展能力增長分析

第六章 刻蝕設備用硅材料行業市場競爭格局分析
第一節刻蝕設備用硅材料競爭態勢分析
一、價格競爭分析
二、品牌競爭分析
三、技術競爭分析
第二節刻蝕設備用硅材料集中度分析
一、企業集中度分析
二、區域集中度分析
第三節刻蝕設備用硅材料企業提升競爭力策略分析


第七章 刻蝕設備用硅材料行業重點企業分析
第一節xxx
一、企業概述
二、競爭優勢分析
三、企業經營分析
四、發展動態分析
第二節xxx
一、企業概述
二、競爭優勢分析
三、企業經營分析
四、發展動態分析
第三節xxx
一、企業概述
二、競爭優勢分析
三、企業經營分析
四、發展動態分析
第四節xxx
一、企業概述
二、競爭優勢分析
三、企業經營分析
四、發展動態分析
第五節xxx
一、企業概述
二、競爭優勢分析
三、企業經營分析
四、發展動態分析
第六節其他廠商
一、xxx
二、xxx
三、xxx
四、....


第九章 刻蝕設備用硅材料行業趨勢預測分析
第一節刻蝕設備用硅材料發展趨勢分析
一、行業產品趨勢
二、行業技術趨勢
三、行業渠道趨勢
四、行業競爭格局趨勢
第二節刻蝕設備用硅材料供需預測分析


第十章 刻蝕設備用硅材料行業投資前景與風險分析
第一節刻蝕設備用硅材料投資前景分析
一、產業鏈投資機會
二、細分市場投資機會
三、區域市場投資機會
四、細分行業投資機會
第二節刻蝕設備用硅材料投資風險分析
一、市場競爭風險
二、原材料壓力風險分析
三、技術風險分析
四、政策和體制風險
五、經濟波動風險
第三節立鼎專家投資建議

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